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各种传感器的独特制造技术
集成传感器:采用标准生产硅半导体集成电路的技术制造。通常,用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。 薄膜传感器:由沉积在介质衬底(基板)上的相应敏感材料制成。采用混合工艺时,同样可以在这个基板上制造部分电路。 厚膜传感器:
发布时间:2021-09-15 点击次数:0
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